氣體混合器 CUBE系列 CUBE　GM2 和更多型號

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特色

• 是質量流量控制器、控制電源、閥門、止回閥、氣體混合器一體式的模塊型。
• 可對2～4種不同氣體進行流量控制以供應混合氣體。

內容

• 對應氣體:Air・N2・Ar・He・H2(其他氣體請諮詢)
• 流量控制範圍:各氣體F.S.10SCCM~20SLM(但是，各氣體的合計流量爲50SLM以下)
• 流量設定:可通過10轉電位計變化
• 流量設定 輸出顯示:定標顯示
• 設定 輸出顯示切換:撥動開關
• IN・OUTLET閥門:球閥
• 接氣部材質:不鏽鋼(SUS316)、PTFE(四氟化乙烯樹脂)、氟橡膠
• 接頭:相當於1 4in.SWL
• 外部泄漏:5×10^-7Pa・m3 secHe
• 輸入電源:AC100V
• 使用環境:溫度 5~50°C(精度保證範圍:15~35°C)、溼度 30~80%(無結露)
• 配件:AC電纜(2m)
• ※請求訂單、報價時，請聯繫使用氣體種類、流量。

其他事項

• 規格：:
• 外部リーク：5×10^-7Pa・m3 secHe
• 入力電源：AC100V
• 使用環境：溫度／5～50℃(精度保証範囲：15～35℃)、溼度／30～80％(結露なし)
• 付屬品：AC電纜(2m)
• ※ご註文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。