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台製 OLINK 旋轉塗佈機 Spin Coater OT-SP101
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商品介紹
【商品說明】
轉速:
280~8500
RPM 直流無刷馬達
塗佈範圍:Wafer基板φ150mm(6吋)以下,可選配能塗佈25um銅箔特規吸盤
轉速設定:2段轉速,精密10圈旋鈕調整,轉盤上數字與馬達轉速相當
不鏽鋼旋轉內槽φ160mm,真空標準附1/2"鐵氟龍吸盤
真空指示:數位型顯示,具真空度不足無法啟動防呆保護機制
尺寸:W232 * D335 * H265 mm(只比A4紙大一點而已)
台製品寬度最小的機型,轉速最高的
馬達同軸直接驅動旋轉吸盤不鏽鋼SUS304軸心(無皮帶)
採用工業級9999RPM直流無刷馬達
吸盤抽氣管路不經過馬達軸心,馬達不易卡死或損壞,10年來無因馬達故障送修案例
真空抽氣管徑全程大於3.5mm以上,不易有堵塞狀況
可接110V真空幫浦(10A過電流保護)
抽氣採用1/4"OD 快速接頭,無需工具即可拆裝
馬達停止後,關閉真空幫浦可自動破真空
時間設定範圍:0~9999秒/分/時
運轉中,具有真空持壓功能,避免誤觸真空PUMP閞關,影響樣品吸附
可選配不需要玻璃當基板,即可將樣品塗佈在25um銅薄膜/塑膠片薄膜吸盤
可選配鋁合金上蓋,配合在無菌操作台內,避免紫外光線對一般PMMA上蓋造成裂化
保固一年
電源: 110V, 50/60Hz
**價格已含小型無油式真空PUMP
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