品牌
內容
- ウェハー徑(mm)：150(6")
- サイズ(mm)：143.38×177.80×170.81
- 収納枚數：25枚
- 連続使用限界溫度：120℃
- 材質：STAT-PRO(R)9000(カーボンナノチューブ含有強化PEE混合炭素化合物)
- 高溫ウェハー投入限界溫度：340℃
- 符合RoHS2 (EU)2015 863
以上圖片及相關資訊由 Fluoroware, Entegris提供。
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