MSA FACTORY 晶圓加熱臺 PH201S-04 和更多型號

品牌

MSA FACTORY

特色

• 對晶圓、玻璃基板等的超薄工件進行均勻加熱。
• 工件可通過真空吸附固定。
• 可使用附帶的溫度調節器進行精密溫度控制。

內容

• 表面處理:黑色陽極氧化鋁
• <熱吸盤部分>
• ▼溫度精度:±1.5%
• ▼重量:約3kg
• <溫度調節器>
• ▼電源:AC100V50 60Hz
• ▼尺寸:98×156×101mm
• ▼重量:約1.3kg
• ※另外需要真空泵(推薦泵例:1-9197-02隔膜型乾式真空泵DAP-12S)。

其他事項

• 電源注意:
• 該商品電源爲AC100V，使用時請務必搭配100V變壓器使用。
• 相關變壓器產品，請參照中文2019號477頁 2017號884頁或者直接諮詢我司。