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ULVAC 直結型油迴轉幫浦
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商品介紹
ULVAC®直結型油迴轉幫浦(2018-03-27-pg-IARV-G-50DA-1.pdf)
採Two-stage真空度高 (~5×10-4Torr)
採Two-stage真空度高 (~5×10-4Torr)
價格便宜、故障低
GVD-050A及GHD-030具gas ballast valve可排除水氣、anti-suck back valve防逆流機構、thermal protection過熱保護設計
排氣量: 60 L/min
到達真空度: 1.3x10-1 PA 1x10-3 Torr 1.3x10-3 mbar
尺寸: 156W x 345L x 200H mm
電源: 100V (日規)
全負荷電流: 4.8A
以上圖片及相關資訊由 ULVAC提供。
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