ULVAC 氦氣測漏儀

高速真空排氣系統:5L/sec
高解析度觸控面板及簡易操作
設備保養簡單
具7 國語言搭載:英,日,韓,中(簡/繁),德,西
以真空法進行測量時, 除了氦氣之外, 也可使用氫氣進行檢測
可檢測氣體:氦氣/氫氣
最小可檢測洩露量 : He:5E-13 Pa.m3/sec
到達真空度PA : < 1200
到達真空度Torr : < 9
到達真空度mbar : < 12